本書的宗旨即在成為工學科系的電漿工學講,確立電漿應用於產業的立場(4章),以此為中心敍述電漿的生成法(2章),電漿的性質(3章)及電漿諸參數的計測法(5章)。以往的電漿教科書站在物理上的立場,以現象記述為中心,讀者不易掌握電漿工學全貌。本書着重使工科學生、現場技術者、研究者瞭解電漿的應用基礎。
第一章 何謂電漿工學
第二章 電漿的生成
第三章 電漿的性質
第四章 電漿的應用
第五章 電漿計測
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